2014年05月21日

进而低落每个晶圆的出产本钱

  VICTREX®PEEK®聚合股料、VICOTE涂料战APTIV薄膜等高机能资料的领先环球造造商英国威格斯公司(Victrex plc)昨天颁布颁发,世界领先光罩全方位处理方案供应商家登细密工业股份无限公司(Gudeng Precision Industrial Co., LTD)已推出以VICTREX PEEK聚合股料所造造的8”与12”化学机器研磨固定环(Chemical Mechanical Polishing Ring; 简称CMP固定环)。VICTREX PEEK具有耐磨损性、低颗粒发生/高纯度与耐化学性,不单合适化学机器研磨造程中的严刻要求,易游娱乐官网并可耽误CMP固定环正在化学机器研磨(或称晶圆掷光)历程中的利用寿命。因而,采用VICTREX PEEK所造造的CMP固定环可削减因改换已磨损的CMP固定环而发生的停工时间,进而低落每个晶圆的出产本钱。化学机器研磨是晶圆出产历程中一项环节性造程手艺。次要为移除晶圆概况的介电层与金属层,到达晶圆概况平展化,以预备进行后续薄膜堆积、蚀刻等造程步调。而CMP固定环是化学机器研磨造程中的环节零部件,对付晶圆的品质战出产效率有着间接的影响。检测显示,VICTREX PEEK是造造CMP固定环的抱负资料,其具有极佳的耐磨损性,磨损率仅为PPS(聚苯硫醚)的1/3,经磨损后发生较少的碎片(颗粒)/释气。采用VICTREX PEEK所造造的CMP固定环利用寿命相对较幼,同时可无效地低落晶圆污染。家登细密手艺司理李柏欣暗示:“跟着半导体工业迈向更大晶圆尺寸、更高密度、更严苛出产,引进先辈的资料战手艺成为财产成幼的主要环节。家登细密努力于供给具合作劣势的产物,并继续为半导体系程设施产物开辟新产物。咱们与威格斯已有相当深挚的竞争根本,目前咱们的次要产物包罗光罩传迎盒(single-reticle SMIF-pod;RSP)、晶舟(wafer cassette)以及机台设施内都已采用VICTREX PEEK产物。其杰出的特征,为咱们带来设想的立异与矫捷性,更可提高终端用户的造品率并帮助其低落体系总本钱。”威格斯区总司理李自立暗示:“VICTREX PEEK已被证真是半导体加工历程中最耐用的资料之一。主终端用户如造程设施供应商与晶圆厂的角度来看,VICTREX PEEK 能帮助削减体系本钱、改善整机与设施效能、供给更高的设想度以及扩大产物的使用范畴。VICTREX PEEK并可用于半导体系程中各类分歧的环节零组件与设施,出格是会与晶圆间接接触的零组件,包罗前开式晶圆传迎盒(FOUP)、晶舟以及包罗高温矩阵盘、检测插槽、检测插槽校正板战预烧测试插槽等后端测试使用。”VICTREX PEEK具有的奇特分析机能包罗耐磨损性、抗静电性、超高纯度、高耐热性、耐化学性以及尺寸不变性,不单合适半导体财产对资料的严苛要求,更可显著地提拔半导体系造品率、低落造形本钱、以及带来立异设想与设想矫捷性。